|
Подробная информация о продукте:
Оплата и доставка Условия:
|
Максимальная температура: | 1200C | Работая температура: | не больше чем 1100C |
---|---|---|---|
Тариф на отопление: | 0-20 ' c | Единообразие точности температуры: | ±1℃ |
Диаметр трубки: | Размер клиента | нагревающий элемент: | Провод SiC или сопротивления |
Контроль температуры: | шаг 30 programmable и управление PID автоматический | ||
Высокий свет: | Печь CVD механотронная,Высокая температура печи трубки Cvd,автоматическая печь трубки Cvd контроля |
Печь CVD машины диаманта Cvd утверждения CE механотронная, печь трубки Cvd машины трубки CVD вакуума газа
Наша печь CVD splitable печь трубки с трубкой кварца диаметра 50mm, двойными горячими зонами, системой вачуумного насоса диффузионного вакуума и газа 4 измерителей прокачки каналов системой массового пропуская. Она может смешать 1-4 типов газов для CVD или диффузии.
Дисплей продукции:
Технические данные:
Модель | XDEM-1200CVD | ||
Часть i: Печь трубки | |||
Печь трубки
|
Дисплей | СИД | |
Камера | Разделенные тип и верхнюю часть можно раскрыть | ||
Максимальн Температура | 1200℃ на короткий период времени | ||
Непрерывный Temp Woking. | ≤1100℃ | ||
Тариф на отопление | Предложение: 0~10℃/min (максимальное 20℃/min) | ||
Зона температуры | зоны 220+220mm двойные | ||
Нагревающий элемент | Провод сопротивления с Mo | ||
Термопара | Тип k | ||
Точность контроля температуры | ±1℃ | ||
Размер трубки | 50 x 1000mm (OD x минимальный l) | ||
Контроль температуры | Режим автоматического управления PID через регулятор мощности SCR | ||
Кривые нагрева | 30 шагов programmable | ||
Фланец вакуума |
Фланец вакуума нержавеющей стали с клапаном
|
||
Сила | 220V, 50 Hz, одиночная фаза на максимальном 3KW | ||
Часть II: Вакуумный насос | |||
Роторный вакуум лопасти Pump+Vacuum насос accessories+Cart с колесом
|
Окончательный вакуум 10-3 торр. И вакуум внутри трубки около 10-1 торр. Расход потока: 2L/S
|
||
Часть III: Массовые измерители прокачки | |||
Массовые измерители прокачки |
4 измерителя прокачки массы точности: MFC 1: Ряд подачи газа от sccm 0~100 MFC 2&3: Ряд контроля от sccm 0~200 MFC 4: Ряд подачи газа от 0~500sccm (или согласно вашему requriement) Один танк газа смешивая установлен на нижний случай с клапаном 4 игольчатого клапана нержавеющей стали установлены на левой стороне нижнего случая для того чтобы контролировать 4 тип газы смешивая вручную
|
||
Датчик вакуума части IV Inficon цифровой | |||
Inficon |
3.8x10-5 до 1125 торр. ряда измерения Противокоррозионный, типа газ независимый
|
Упаковка & грузить:
Деревянная коробка с polyfoam заполненным внутрь для обеспечения безопасного транспорта.
Пакеты могут быть отправлены морским путем, самолетом, срочным, etc в запрос клиента.
Контактное лицо: Mr. John Fang
Телефон: 86-13837786702